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回收旧单晶硅炉+清河螺杆真空泵回收每台多少钱
发布时间:2024/5/6 21:09:14
发布:shxj365
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使含有一氧化硅的氩气气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口,在真空泵的作用下,排出炉外。密封导气管装置由导气管,底 座,密封环,排气口所组成,在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出,从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀, 影响单晶炉的使用寿命。其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和 C公了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置且其向炉内充入氩气时的充气气压在1. 3xi03Pa 以上,导致其氩气流量较大,故而氩气消耗量大,生产成本较高。
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一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体,后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。的硅单晶体生长炉商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000,CG6000,KAYEX100PV。生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前上大美国KAYEX\国外以美国KAYEX 为代表 KAYEX120PV,KEYEX150,Vision300型,投料